(12)实用新型专利
(10)授权公告号(10)授权公告号 CN 203906329 U(45)授权公告日 2014.10.29
(21)申请号 201420295833.0(22)申请日 2014.06.05
(73)专利权人核工业理化工程研究院
地址300180 天津市河东区津塘路168号(72)发明人刘巍 郭子学 韩莉果 庞志莹(74)专利代理机构天津市宗欣专利商标代理有
限公司 12103
代理人胡恩河(51)Int.Cl.
F04D 19/04(2006.01)F04D 29/64(2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
权利要求书1页 说明书3页 附图4页权利要求书1页 说明书3页 附图4页
(54)实用新型名称
一种嵌入装置内部的牵引式分子泵(57)摘要
本实用新型公开了一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有转子的外壳，内壁形成螺旋抽气槽且与转子同轴的第一级分子泵；与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵上端面形成上环形凸缘，下端面形成多个抽气槽，中间形成中心通孔，中心通孔的内壁形成螺旋抽气槽，第三级分子泵的下部形成圆环形装配槽；与第三级分子泵中装配槽过盈配合的圆环形第二级分子泵下端面形成多个抽气槽，第二级分子泵的边缘形成与螺钉孔相对应的多个凹槽。本实用新型具有加工成本低且易加工安装的特点；且本实用新型利用了转子自身高速旋转的特点，可以在不进一步提高外界抽空能力的条件下使装置内的压强达到10-3Pa的状态。CN 203906329 U CN 203906329 U
权 利 要 求 书
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1.一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有圆柱型转子（1）的外壳（2），其特征在于：还包括与转子（1）同轴的中空的圆筒状第一级分子泵（3），第一级分子泵（3）处于转子（1）侧立面与外壳（2）内壁之间，第一级分子泵（3）内壁形成螺旋抽气槽（7）；与第一级分子泵（3）过盈连接的第三级分子泵（5）上端面形成上环形凸缘（8），下端面形成多个抽气槽（9），中间形成中心通孔（10），中心通孔（10）的内壁形成螺旋抽气槽（7），第三级分子泵（5）的下部形成圆环形装配槽（11），装配槽（11）上方均布有用于将第三级分子泵（5）与端面法兰（6）连接的多个螺钉孔（12），第三级分子泵（5）外壁形成有下环形凸缘（14）；与第三级分子泵（5）中装配槽（11）过盈配合的圆环形第二级分子泵（4）下端面形成多个抽气槽（9），第二级分子泵（4）的边缘形成与螺钉孔（12）相对应的多个凹槽（13）。
2.根据权利要求1所述的一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，其特征在于：所述螺旋抽气槽（7）截面呈U型，且呈右旋状态。
3.根据权利要求1所述的一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，其特征在于：所述上环形凸缘（8）与端面法兰（6）下部形成的环形凹槽相配合。
4.根据权利要求1所述的一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，其特征在于：所述第二级分子泵（4）下端面形成的抽气槽（9）与第三级分子泵（5）下端面形成抽气槽（9）相对齐。
5.根据权利要求1所述的一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，其特征在于：所述多个抽气槽（9）按环形均布，其槽型为变宽度的矩形。
6.根据权利要求1所述的一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，其特征在于：所述转子（1）以逆时针方向转动。
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说 明 书
一种嵌入装置内部的牵引式分子泵
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技术领域
[0001]
本实用新型属于分子泵领域，具体涉及一种嵌入装置内部的牵引式分子泵。
背景技术
目前已广泛应用的分子泵虽然具有良好的高真空和超高真空性能，但由于其工作原理和泵结构限制，导致其只能与待抽空设备通过管道或法兰相串联，而无法直接镶嵌在装置中使用。例如，通常状况下若要使某种转动部件高速旋转时，往往需要对其周围进行抽真空处理，以保证其转动时处于一个良好的真空环境进而降低摩擦功耗和因摩擦而产生的热量。然而，若要使此转动部件在高转速下工作时，仅靠外界的抽空装置对其进行抽空则根本无法满足要求，因此需要设计一套可以直接镶嵌在装置内的分子泵系统对其进行抽空处理。
[0002]
实用新型内容
[0003] 本实用新型是为了克服现有技术中存在的缺点而提出的，其目的是提供一种嵌入装置内部的牵引式分子泵。
[0004] 本实用新型的技术方案是：
[0005] 一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有圆柱型转子的外壳，还包括与转子同轴的中空的圆筒状第一级分子泵，第一级分子泵处于转子侧立面与外壳内壁之间，第一级分子泵内壁形成螺旋抽气槽；与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵上端面形成上环形凸缘，下端面形成多个抽气槽，中间形成中心通孔，中心通孔的内壁形成螺旋抽气槽，第三级分子泵的下部形成圆环形装配槽，装配槽上方均布有用于将第三级分子泵与端面法兰连接的多个螺钉孔，第三级分子泵外壁形成有下环形凸缘；与第三级分子泵中装配槽过盈配合的圆环形第二级分子泵下端面形成多个抽气槽，第二级分子泵的边缘形成与螺钉孔相对应的多个凹槽。
[0006] 所述螺旋抽气槽截面呈U型，且呈右旋状态。
[0007] 所述上环形凸缘与端面法兰下部形成的环形凹槽相配合。
[0008] 所述第二级分子泵下端面形成的抽气槽与第三级分子泵下端面形成抽气槽相对齐。
[0009] 所述多个抽气槽按环形均布，其槽型为变宽度的矩形。[0010] 所述转子以逆时针方向转动。[0011] 本实用新型的有益效果是：
[0012] 本实用新型具有加工成本低且易加工安装的特点；且本实用新型充分地利用了转子自身高速旋转的特点，可以在不进一步提高外界抽空能力的条件下使装置内的压强达到10-3Pa的状态；第二级分子泵与第三级分子泵属于分体式，因而可降低加工难度；第二级分子泵上设有三个可供螺钉穿入的开口，因此不会影响第三级分子泵与端面法兰的正常安装与连接；第二级分子泵与第三级分子泵之间采用过盈配合式连接，所以减少了抽气槽中的
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说 明 书
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螺钉等零部件，继而最大程度地保证了抽气槽的过流面积。附图说明
[0013] [0014] [0015] [0016] [0017] [0018] [0019] [0020] [0021] [0022] [0023] [0024] [0025] [0026] [0027] [0028] [0029]
图1是本实用新型一种嵌入装置内部的牵引式分子泵的结构示意图；
图2是图1未安装转子时的A-A面剖视图；
图3是本实用新型中第一级分子泵的结构示意图；图4是本实用新型中第三级分子泵的结构示意图；图5是图3和图4中沿B-B线的剖面图;
图6是本实用新型中第二级分子泵的结构示意图；图7是第三级分子泵C向结构示意图；图8是图6和图7中沿D-D线的剖面图。其中：
1 转子 2 外壳
3 第一级分子泵 4 第二级分子泵5 第三级分子泵 6 端面法兰7 螺旋抽气槽 8 上环形凸缘9 抽气槽 10 中心通孔11 装配槽 12 螺钉孔
13 凹槽 14 下环形凸缘15 螺钉。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本实用新型一种嵌入装置内部的牵引式分子泵进行详
细说明：
[0031] 如图1~8所示，一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有圆柱型转子1的外壳2，还包括与转子1同轴的中空的圆筒状第一级分子泵3，第一级分子泵3处于转子1侧立面与外壳2内壁之间，第一级分子泵3内壁形成螺旋抽气槽7；与第一级分子泵3过盈连接的第三级分子泵5上端面形成上环形凸缘8，下端面形成多个抽气槽9，本实施例中抽气槽9的数量为8个，中间形成中心通孔10，中心通孔10的内壁形成螺旋抽气槽7，第三级分子泵5的下部形成圆环形装配槽11，装配槽11上方均布有用于将第三级分子泵5与端面法兰6连接的多个螺钉孔12，本实施例中螺钉孔12的的数量为3个，第三级分子泵5外壁形成有下环形凸缘14；与第三级分子泵5中圆环形装配槽11过盈配合的圆环形第二级分子泵4下端面形成抽气槽9，第二级分子泵4的边缘形成与螺钉孔12相对应的多个凹槽13。
[0032] 所述螺旋抽气槽7截面呈U型，且呈右旋状态。
[0033] 所述上环形凸缘8与端面法兰6下部形成的环形凹槽相配合。
[0034] 所述第二级分子泵4下端面形成的多个抽气槽9与第三级分子泵5下端面形成的多个抽气槽9相对齐。
[0035] 所述多个抽气槽9按环形均布，其槽型为变宽度的矩形。
[0030]
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说 明 书
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所述转子1以逆时针方向转动，且在轴向上不发生位移。[0037] 本实用新型的安装方法：[0038] 在装配过程中，需先将第一级分子泵3与第三级分子泵5过盈配合。之后，将第二级分子泵4与第三级分子泵5的槽线相对齐后再进行压装，即过盈配合，以保证抽气槽9的连续性，最后再通过螺钉15将第三级分子泵5与端面法兰6相连接。[0039] 再将转子1装入外壳2中，然后将已装有第一级分子泵3、第二级分子泵4、第三级分子泵5的端面法兰6安装在外壳2上。[0040] 使用时，需首先借助外装的真空泵系统对装置内进行抽空，当达到10Pa以下状态时，方可以允许转子开始旋转直至达到额定转速。
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说 明 书 附 图
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图1
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图2
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图7
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