专利名称：一种新型双副室单晶炉专利类型：实用新型专利发明人：卢阳华,马向东申请号：CN202020037070.5申请日：20200108公开号：CN211734527U公开日：20201023
摘要：本实用新型公开一种新型双副室单晶炉，包括一机架、设置在机架上的一主炉室、一第一驱动机构与一第二驱动机构、以及与第一驱动机构、第二驱动机构输出端对应连接的第一副炉室与第二副炉室。本实用新型的是设计一种全新的双副室单晶炉，一个上部配置高精度提拉头的副室用于拉硅单晶棒，另一个上部配置低成本提升机的副室用于二次加料；从而节约停炉等待时间，大幅提高单炉的产出量和单晶炉主炉室的使用效率，减少电能和Ar气消耗，降低单晶硅生产成本。
申请人：深圳晶鑫智造科技有限公司
地址：518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道吉祥社区彩云路8号保成泰产业园E栋201
国籍：CN
代理机构：深圳市中科创为专利代理有限公司
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