（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201020527279.6 （22）申请日 2010.09.11
（71）申请人 安徽华东光电技术研究所
地址 241002 安徽省芜湖市弋江区高新技术开发区华夏科技园
（10）申请公布号 CN201785480U
（43）申请公布日 2011.04.06
（72）发明人 吴华夏;孟昭红;沈旭东;方卫;于晨晨;陈爱民 （74）专利代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司
代理人 余成俊
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种阴极镀膜设备
（57）摘要
本实用新型公开了一种阴极镀膜设
备，包括有壳体，壳体底部有管口，壳体顶部有顶盖，壳体顶部两端外有螺线包，壳体顶部中有竖向屏蔽罩，壳体中有两层中间有开孔的横向屏蔽罩，上层的横向屏蔽罩开孔中安装有支架，壳体中靠近管口有靶材，壳体顶部两端还有灯丝，灯丝与竖向屏蔽罩之间还有半圆形屏蔽罩，从横向屏蔽罩、靶材及半圆形屏蔽罩上分别有导线从壳体底部引出。 法律状态
法律状态公告日
2011-04-06 2016-11-09
授权
法律状态信息
授权
专利权的终止
法律状态
专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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