专利名称：一种靶材专利类型：实用新型专利发明人：臧龙杰
申请号：CN201920393122.X申请日：20190327公开号：CN209702848U公开日：20191129
摘要：本实用新型提供一种靶材，包括靶材；所述靶材下端面设置有铜网，所述铜网位于硅胶内，所述铜网与硅胶平面大小相同，所述铜网不与靶材连接的一侧设置有靶材背板，所述铜网与靶材以及靶材背板均为贴合连接，所述靶材、铜网以及靶材背板均通过硅胶粘合。本实用新型一种靶材，结构简便，能使硅胶完全导电，并且导电效果好。
申请人：昆山世高新材料科技有限公司
地址：215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇环庆路2488号5号房
国籍：CN
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