专利名称：带电粒子束装置专利类型：发明专利发明人：片根纯一,伊东佑博申请号：CN201080006680.8申请日：20100120公开号：CN102308357A公开日：20120104
摘要：本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
申请人：株式会社日立高新技术
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京银龙知识产权代理有限公司
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