金属薄膜厚度怎么测量？操作难吗？
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发布时间：2022-04-20 09:35
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时间：2023-07-16 19:31
测试薄膜的厚度，根据不同的薄膜有不同的测试方法。例如：对于金属薄膜的测试，可以通过物理测试的方法来测量薄膜的厚度。其中，较为常用和准确的方法是利用FESEM（场发射扫描电镜）进行测量。此外，还可以利用X射线光电子能谱（XPS）或拉曼光谱进行分析检测。对于石墨烯、氧化铝、氧化锌等的薄膜测试，也有其他的测试方法，例如计算样品的质量，利用理论计算计算膜的密度，给出膜的厚度。
