发布网友 发布时间:2022-04-21 03:28
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热心网友 时间:2022-06-17 15:41
一般来说没有在生产的晶圆24小时内要放进去氮气柜,或是真空包装存放。晶圆在有湿度的环境里面很容易造成Pad的氧化,一般车间的湿度会设定在40%~70%,这对晶圆的铝垫会有影响。但是对于ESD的问题会比较好。
热心网友 时间:2022-06-17 15:42
这个应该没有时间限定,只要是运作的无尘车间,是恒温恒洁净度,所以不会有问题啊,难道还有其他什么?